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中頻交流磁控濺射電源
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產品特點：中頻交流磁控濺射電源能在充分滿足電源工作的基礎上實現合理而快速的滅弧功能；具備完善的欠壓、過壓、過載和過熱等保護及顯示功能；該電源支持雙靶工作，可濺射非導電靶材，增加離化率有效克服靶中毒及異常放電。
電源配置：1、標準配置：電源1臺；2、選裝配置：3米輸入電源線一根，互鎖保護裝置一組；
優點優勢
靶源、離子源多維變化，改進多邊膜層均勻性和結合力；
采用閉環控制器提高涂層均勻性；
無縫對接式運行，提高生產率；
技術指標
型號 | SP20MB815 | SP30MB830 | SP40MB845 | SP108MB1014 |
功率 | 20KW | 30KW | 40KW | 108KW |
空載電壓 | 1000V | 1000V | 1000V | 1500V |
工作電壓 | 80-800V | 80-800V | 80-800V | 100-1000V |
工作電流 | 15A | 30A | 45A | 144A |
頻率 | 40kHz | 40kHz | 40kHz | 40kHz |
電源尺寸 | 610×480×280 | 610×480×280 | 750×480×310 | 800×600×1800 |
冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
類型 | 常規 | 常規 | 常規 | 常規 |
訂制 | 非標電源可訂制 | |||
