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直流磁控濺射電源
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產(chǎn)品特點：高頻逆變輸出方式，與濺射靶匹配良好。
電源配置：1、標準配置：電源1臺；2、選裝配置：3米輸入電源線一根，互鎖保護裝置一組；
優(yōu)點優(yōu)勢
靶源、離子源多維變化，改進多邊膜層均勻性和結合力；
采用閉環(huán)控制器提高涂層均勻性；
無縫對接式運行，提高生產(chǎn)率；
技術指標
型號 | SP3M5 | SP6M10 | SP20M30 | SP30M45 |
功率 | 3KW | 6KW | 20KW | 30KW |
空載電壓 | 1200V | 1200V | 1200V | 1200V |
工作電壓 | 200-600V | 200-600V | 200-600V | 200-600V |
工作電流 | 5A | 10A | 30A | 45A |
電源尺寸 | 610×480×280 | 610×480×281 | 610×480×282 | 610×480×283 |
冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
類型 | 常規(guī) | 常規(guī) | 常規(guī) | 常規(guī) |
訂制 | 非標電源可訂制 | |||
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