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電弧蒸發電源
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產品特點：智能自動引弧、穩弧電流小、控制方便，節能省電。
電源配置：1、標準配置：電源1臺；2、選裝配置：3米輸入電源線一根，3米控制電纜一根，遠控開關,遠控盒控制；
優點優勢
靶源、離子源多維變化，改進多邊膜層均勻性和結合力；
采用閉環控制器提高涂層均勻性；
無縫對接式運行，提高生產率；
技術指標
| 型號 | SP5A150 | SP5A200 | SP15-TAC-500 |
| 功率 | 5KW | 6KW | 15KW |
| 工作電流 | 30-150A | 50-200A | 50-500A |
| 空載電壓 | 70V | 70V | 70V |
| 工作電壓 | 16-30V | 20-30V | 20-30V |
| 電源尺寸 | 450×205×290 | 450×260×400 | 335×585×735 |
| 冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 |
| 類型 | 常規 | 常規 | 常規 |
| 訂制 | 非標電源可訂制 | ||
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中頻交流磁控濺射電源
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