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單極脈沖偏壓電源
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產品特點：高頻逆變方式，使用工藝范圍寬，能有效改善膜層質量，降低溫升，細化顆粒，增加附著力，提高沉積速率改善膜層均勻性。
電源配置：1、標準配置：電源1臺 3米輸入電源線一根；2、選裝配置：互鎖保護裝置一組；
優點優勢
靶源、離子源多維變化，改進多邊膜層均勻性和結合力；
采用閉環控制器提高涂層均勻性；
無縫對接式運行，提高生產率；
技術指標
型號 | SP6U1520 | SP12U1540 | SP20U1570 | SP30U15100 |
功率 | 6KW | 12KW | 20KW | 30KW |
空載電壓 | 1000V | 1500V | 1500V | 1500V |
工作電流 | A：50-300V 20A | A：50-300V 40A | A：50-300V 70A | A：50-300V 100A |
占空比 | 5%-90% | 5%-90% | 5%-90% | 5%-90% |
頻率 | 40kHz | 40kHz | 40kHz | 40kHz |
電源尺寸 | 580×440×190 | 580×440×190 | 580×440×190 | 580×440×190 |
冷卻方式 | 水冷 | 水冷 | 水冷 | 水冷 |
類型 | 常規 | 常規 | 常規 | 常規 |
訂制 | 非標電源可定制 | |||
