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DLC涂層鍍膜設備
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產品簡介
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DLC（類金剛石涂層）涂層設備廣泛應用于發動機零部件，有色金屬切削工具、滑動密封部件、紡織行業等工業領域。
該系列設備適用于多種DLC涂層，可根據客戶需求搭載過濾弧離子鍍、非平衡磁控濺射、HiPIMS、PE-CVD等組合配置。
本公司開發的“中間層技術”DLC膜通過著力于中間層，從而實現良好的附著性、耐磨性、高硬度、低摩擦系數、低表面粗糙度，使 DLC涂層得到更優越的性能，一舉攻破低溫成膜技術的瓶頸，使得DLC涂層可在更多領域發展。
適用于汽車零部件制造、機械零件、模具、軸承、沖拉模、模具等。
優點優勢
低摩擦系數；
優異的附著力；
低溫成膜技術；
技術指標
設備型號 | SP-0506AI | SP-0810AI | SP-0910ASI | SP-1112AI |
負載直徑（mm） | 350 | 600 | 650 | 900 |
負載高度（mm） | 420 | 750 | 800 | 1000 |
極限真空 | 6.0E-5Pa | |||
抽氣時間 | 空載大氣至5.0E-3Pa小于20分鐘 | |||
壓升率 | 1h≤0.5Pa | |||
真空泵組 | 機械泵+羅茨泵+分子泵+維持泵 | |||
加熱系統 | 常溫至550℃可調可控（PID控溫） | |||
加氣系統 | 質量流量控制儀（1-4路） | |||
靶結構 | 圓弧靶、Cloud弧、濺射靶、條形離子源 | |||
電源類型 | 弧電源、高壓轟擊偏壓電源、HiPIMS濺射電源、離子源電源、SPA電源等 | |||
工件旋轉方式 | 公自轉+二次自轉 變頻可控可調1-5轉/分 | |||
最大載重量 | 250KG | 500KG | 500KG | 1200KG |
控制方式 | 手動+半自動+全自動一體化+PLC+IPC | |||
備注 | 設備各配置指標可按客戶產品及特殊工藝要求定制。 | |||
應用領域
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