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MiniMicro-LED顯示鍍膜設(shè)備
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
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玻璃基板/顯示面板PVD鍍膜生產(chǎn)線，通過(guò)PVD鍍膜技術(shù)，讓玻璃基板實(shí)現(xiàn)多面鍍銅。
優(yōu)點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
靈活配置以滿足特定的生產(chǎn)需求；
采用閉環(huán)控制器提高涂層均勻性；
無(wú)縫對(duì)接式運(yùn)行，提高生產(chǎn)率；
優(yōu)化的磁性配置，具有出色的均勻性和利用率
技術(shù)指標(biāo)
| 設(shè)備型號(hào) | SP-0606SI-LH | SP-1112S-LH |
| 真空室尺寸（mm） | 9000×700 | 15000×1100 |
| 極限真空 | 3.0E-4Pa | |
| 壓升率 | 1h≤0.4Pa | |
| 真空機(jī)組 | 機(jī)械泵+羅茨泵+分子泵+低溫泵 | |
| 加熱系統(tǒng) | 常溫-300℃ | |
| 加氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量計(jì)精密控制 | |
| 濺射靶 | 旋轉(zhuǎn)陰極、平面濺射靶、多邊濺射靶 | |
| 電源類型 | 直流濺射電源、離子電源 | |
| 工件運(yùn)行方式 | 步進(jìn)（一次通過(guò)）、伺服器無(wú)級(jí)調(diào)速 | |
| 控制方式 | 手動(dòng)+半自動(dòng)+全自動(dòng)一體化+PLC+IPC | |
| 遠(yuǎn)程對(duì)接 | MES | |
| 外部配套 | 自動(dòng)上下料裝置 | |
應(yīng)用領(lǐng)域
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