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立式連續線
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產品簡介
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聯體鍍膜設備是實力源推出的真空鍍膜量產解決方案。連續式鍍膜可以使鍍膜室不會暴露于大氣，保證了鍍膜工藝穩定的同時也節省了抽氣時間，生產效率倍增。聯體設備通過真空機組的簡化和優化配置，鍍制同等數量產品聯體設備能耗約為單體設備能耗的60%，有效的節約能源，給企業降低成本，設備投資回收期大幅縮短。
優點優勢
靈活配置以滿足特定的生產需求；
采用閉環控制器提高涂層均勻性；
無縫對接式運行，提高生產率；
優化的磁性配置，具有出色的均勻性和利用率；
技術指標
| 設備型號 | SP-1006AS-L | SP-1316AS-L | SP-1885AS-L | SP-1912ASI-L |
| 真空室尺寸（mm） | 1000×600 | 1300×1600 | 1800×850 | 1900×1200 |
| 極限真空 | 6.0E-4Pa | |||
| 抽氣時間 | 空載大氣至5.0E-3Pa小于15分鐘 | |||
| 壓升率 | 1h≤0.5Pa | |||
| 真空泵組 | 機械泵+羅茨泵+分子泵+維持泵 | |||
| 加熱系統 | 常溫至300℃可調可控（PID控溫） | |||
| 加氣系統 | 質量流量控制儀（1-8路） | |||
| 靶結構 | 多弧靶、濺射靶、射頻吧、離子源等 | |||
| 電源類型 | 偏壓電源、弧電源、直流濺射電源、中頻濺射電源、射頻電源、HiPIMS電源等 | |||
| 工件運行方式 | 立式公自轉、線性或往復式運行 變頻無極調速 | |||
| 控制方式 | 手動+半自動+全自動一體化+PLC+IPC | |||
| 備注 | 設備各配置指標可按客戶產品及特殊工藝要求定 | |||
應用領域
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