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臥式連續線
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我司自2007年起連續鍍膜生產線投放市場，針對各個行業、產品結構、涂層性能等不同需求針對性推出多款機型，并根據產品所需性能特點進行詳細分類設計、建造，使裝備行成標準化機型。
它承載著PVD鍍膜工業未來發展使命，經過近十幾年的發展設備已達到全自動化、標準化生產狀態，正向智能化生產車間發展邁進，有效提高產品品質、降低生產成本，節能減排，使企業提高產品核心競爭力。
優點優勢
靈活配置以滿足特定的生產需求；
采用閉環控制器提高涂層均勻性；
無縫對接式運行，提高生產率；
優化的磁性配置，具有出色的均勻性和利用率；
技術指標
設備型號 | SP-0610AS | SP-1316AS | SP-2616AS | SP-3020AS |
真空室尺寸（mm） | 600×1000 | 1300×1600 | 2600×1600 | 3000×2000 |
極限真空 | 6.0E-4Pa | |||
抽氣時間 | 空載大氣至5.0E-3Pa小于20分鐘 | |||
壓升率 | 1h≤0.5Pa | |||
真空泵組 | 機械泵+羅茨泵+分子泵/深冷系統+維持泵 | |||
加熱系統 | 常溫至300℃可調可控（PID控溫） | |||
加氣系統 | 質量流量控制儀（1-6路） | |||
靶結構 | 弧靶、柱狀濺射靶、平面濺射靶、條形離子源 | |||
電源類型 | 弧電源、直流濺射電源、中頻濺射、高壓轟擊偏壓電源、射頻電源等 | |||
工件運行方式 | 臥式線性運行 | |||
控制方式 | 手動+半自動+全自動一體化+PLC+IPC | |||
備注 | 設備各配置指標可按客戶產品及特殊工藝要求定制 | |||
應用領域
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