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薄膜電池導電涂層鍍膜設備
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高分子薄膜卷繞式雙面銅箔真空鍍膜設備，采用真空氣相沉積技術，設備能夠一次性鍍制雙面30mΩ銅箔涂層，同時兼顧高速鍍制雙面500mΩ銅箔涂層；同時可支持多種復合涂層制備，單一制程內能夠在銅膜表面進一步覆蓋保護或增強功能性涂層。
雙面一次性鍍制導電涂層，形成“金屬導電層-高分子支撐層-金屬導電層”三明治復合結構涂層；可快速鍍制30mΩ銅箔涂層；無需后續電鍍方式輔助沉積，避免生產環保問題；采用專有高能清洗活化技術，提升金屬層與高分子層間結合力；在同等單面方阻指標下，我司產品節省70%銅箔厚度，大幅降低電池自重。
優點優勢
一次成膜；
銅箔涂層電阻低于30mΩ；
環保無污染；
技術指標
設備型號 | SP-650SI | SP-1300SI | SP-1650ASI |
鍍膜尺寸（mm） | 650 | 1300 | 1650 |
極限真空 | 6.0E-4Pa | ||
壓升率 | 1h≤0.5Pa | ||
真空泵組 | 機械泵+羅茨泵+分子泵/低溫捕集泵+維持泵 | ||
加熱系統 | 常溫至300℃可調可控（PID控溫） | ||
加氣系統 | 質量流量控制儀 | ||
基材 | PET等柔性基材 | ||
方阻 | 30-500mΩ | ||
靶結構 | 濺射靶、高壓清洗源等 | ||
電源類型 | 高壓清洗電源、濺射電源等 | ||
工件旋轉方式 | 多輥雙面復合 | ||
控制方式 | 手動+半自動+全自動一體化+PLC+IPC | ||
備注 | 設備各配置指標可按客戶產品及特殊工藝要求定制。 | ||
應用領域
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