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磁性材料鍍膜設(shè)備
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產(chǎn)品簡介
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適用于磁性材料表面防腐涂層的制備，通過磁控濺射、蒸發(fā)、電弧、離子轟擊等、在基材表面快速鍍制鋁/合金、鈦、鉻等金屬薄膜，具有防腐性能高、膜層結(jié)合力好、生產(chǎn)過程無任何污染、避免電鍍液的殘留導致產(chǎn)品不良等特點。
優(yōu)點優(yōu)勢
工藝技術(shù)支持；
提高耐腐性；
高生產(chǎn)率；
技術(shù)指標
| 設(shè)備型號 | SP-1212AS | SP-1512AS | SP-1912AS | SP-1515AS |
| 真空室尺寸（mm） | 1200×1200 | 1500×1200 | 1900×1200 | 1500×1500 |
| 極限真空 | 6.0E-4Pa | |||
| 抽氣時間 | 空載大氣至5.0E-3Pa小于15分鐘 | |||
| 壓升率 | 1h≤0.5Pa | |||
| 真空泵組 | 機械泵+羅茨泵+擴散泵/分子泵/深冷系統(tǒng)+維持泵 | |||
| 加熱系統(tǒng) | 常溫至300℃可調(diào)可控（PID控溫） | |||
| 加氣系統(tǒng) | 質(zhì)量流量控制儀（1-4路） | |||
| 靶結(jié)構(gòu) | 圓弧靶、柱狀濺射靶、條形離子源 | |||
| 電源類型 | 直流濺射電源、弧電源、高壓轟擊偏壓電源、離子源電源等 | |||
| 工件旋轉(zhuǎn)方式 | 公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn) 變頻可控可調(diào)1-5轉(zhuǎn)/分 | |||
| 控制方式 | 手動+半自動+全自動一體化+PLC+IPC | |||
| 備注 | 設(shè)備各配置指標可按客戶產(chǎn)品及特殊工藝要求定制。 | |||
應(yīng)用領(lǐng)域
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